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從圖可見(jiàn)，鈦升華泵的結(jié)構(gòu)大致可分為三部分：吸氣面、熱絲(或升華器)和控制器。鈦升華泵的工作過(guò)程是由控制器通電給升華器(或熱絲)，使鈦加熱到足夠高的溫度(1100oC)直接升華。升華出來(lái)的鈦沉積在用水或液氮冷卻的表面上，形成新鮮的鈦膜層。鈦在升化和沉積的過(guò)程中，與活性氣體結(jié)合成穩(wěn)定的化合物(固相的TiO或TiN)，結(jié)果將空間的氣體分子抽除了。