蒸汽噴射真空泵有一定壓強的工作，蒸汽通過拉瓦爾噴咀，減壓增速（蒸汽的勢能轉(zhuǎn)變?yōu)閯幽埽┮猿羲賴娙牖旌鲜�，與被抽介質(zhì)混合，進(jìn)行能量交換，混合后的氣體進(jìn)入擴(kuò)壓器，減速增壓（動通轉(zhuǎn)化為壓強能），為了減少后級泵的抽氣負(fù)荷，配置冷凝器，通過有一定溫差的兩種介質(zhì)對流，進(jìn)行熱交換，達(dá)到冷凝高溫介質(zhì)目的，排到大氣壓。(原理見下圖）
 噴射真空泵的內(nèi)部構(gòu)件主要有拉瓦爾噴嘴和擴(kuò)壓器組成，單級蒸汽噴射泵的結(jié)構(gòu)如圖1所示，其它各級的結(jié)構(gòu)形式與此基本相同。
其工作過程可分為三個階段：絕熱膨脹階段、混合階段、壓縮階段。
在絕熱膨脹階段，工作蒸汽通過縮放噴嘴后，壓力能轉(zhuǎn)化為速度能，以極高的速度進(jìn)入擴(kuò)壓器，同時工作蒸汽的壓力在噴嘴出口處下降，形成真空把被抽氣體吸入；
混合階段，被抽氣體進(jìn)入擴(kuò)壓器，在擴(kuò)壓器中，蒸汽與被抽氣體發(fā)生碰撞、混合，進(jìn)行能量交換，到擴(kuò)壓器喉部完成混合，兩種氣體達(dá)到同一速度；
壓縮階段，經(jīng)過擴(kuò)壓器喉部后，混合氣速度降低，壓力進(jìn)一步上升，在擴(kuò)壓器出口達(dá)到大氣壓力或后一級噴射器的入口壓力，把被抽氣體排出。
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