1)極限壓強：可達10-10Pa。
2)抽速：鈦升華泵的抽速較大，新鮮鈦膜在液氮溫度下，對氮的抽速可達10.1L／cm²·s，對氫的抽速可達19.9L／cm²·s。鈦升華泵的抽速受很多因素影響，升華速率是決定其抽速的主要因素之一。若吸氣面足夠大，在一定壓強范圍內，升華速率高，則泵的抽速大。當然膜沉積速率與排氣量要相稱，否則第一層鈦膜吸氣尚未飽和，第二層又覆蓋上去，即使升華率高，抽速也增大不了多少。為了維持恒定的抽速，減少鈦的消耗，需要對升華速率進行調節(jié)。當真空度高時要把升華速率降低。吸氣面也是決定泵性能的重要因素之一。吸氣面越大，泵的抽速越大。但泵口流導限制了泵的抽速。對室溫下空氣，泵口最大流導是11.7L／cm²·s。
