真空獲得設(shè)備按品種可分為15大類，按抽氣能力可分為高/超高真空泵、中真空泵和粗/低真空泵。而真空獲得設(shè)備中最大面廣的是旋片泵、滑閥泵、羅茨泵和油擴散泵。
我國生產(chǎn)真空獲得設(shè)備從20世紀(jì)30年代開始起步，目前年產(chǎn)量已達12萬臺左右，產(chǎn)品品種和質(zhì)量基本能夠滿足國內(nèi)市場需求。但中國入世后，面臨激烈的國際市場競爭，國內(nèi)真空獲得設(shè)備在質(zhì)量水平上與發(fā)達國家的差距亟待我們冷靜思考，研究對策。
真空獲得設(shè)備按品種可分為15大類，按抽氣能力可分為高/超高真空泵、中真空泵和粗/低真空泵。而真空獲得設(shè)備中最大面廣的是旋片泵、滑閥泵、羅茨泵和油擴散泵。
旋片泵該泵是所有真空獲得設(shè)備中產(chǎn)量最大、應(yīng)用最普遍的真空泵，全國年產(chǎn)量約10萬臺。
我國旋片泵生產(chǎn)設(shè)計水平、加工制造以及性能都已趨向成熟。目前旋片泵中皮帶泵約有80%的產(chǎn)品，直聯(lián)泵約有50%的產(chǎn)品，質(zhì)量能夠達到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求，但仍存在以下問題：
2Pa時的抽速過低，抽氣效率達不到標(biāo)準(zhǔn)要求。按標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，當(dāng)旋片泵在入口壓力為2Pa時，表征泵抽氣能力的指標(biāo)——抽氣效率應(yīng)達到45%以上。而目前我國旋片泵的不合格產(chǎn)品中，80%的產(chǎn)品該項指標(biāo)較低。其原因，一方面是由于某些產(chǎn)品的入口直徑?jīng)]有執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)，造成通導(dǎo)不足；一方面是由于零部件加工和裝配問題，引起泵的返流、泄漏及管阻加大。一些企業(yè)由于缺少抽氣效率指標(biāo)的檢測條件，產(chǎn)品出廠沒有經(jīng)過檢測監(jiān)控把關(guān)，使該項指標(biāo)長期得不到改善和解決。
噴油和漏油問題。近幾年國內(nèi)主要生產(chǎn)廠對旋片泵的噴油、漏油問題下了很大的力氣加以解決，成效顯著，但是仍有約20%的旋片泵噴油、漏油。
泵的噪聲不符合標(biāo)準(zhǔn)要求。旋片泵的噪聲主要來源于三方面：泵油對閥片的沖擊產(chǎn)生的噪聲；配用電機產(chǎn)生的噪聲；振動、旋轉(zhuǎn)件產(chǎn)生的噪聲。一些企業(yè)采取了改進閥片材料、嚴(yán)格控制油量、選擇低噪聲電機等手段，使噪聲降低。但目前旋片泵不合格產(chǎn)品中，仍有20%的產(chǎn)品噪聲不合格。
滑閥泵該泵加上一些附屬裝置后具有抽出水蒸氣和腐蝕性氣體的能力，其工作壓力范圍寬，經(jīng)久耐用，故障率低。近幾年該泵在我國發(fā)展較快，年產(chǎn)量約為3000臺。
我國滑閥泵質(zhì)量經(jīng)過多年的市場磨練，主要技術(shù)性能如極限壓力、抽速、抽氣效率等指標(biāo)已經(jīng)得到大大改善，特別是近幾年，為解決滑閥泵的噪聲、振動等問題，生產(chǎn)企業(yè)與大專院校聯(lián)合，從理論到加工工藝都進行了卓有成效的探索和努力。
滑閥泵的噪聲形成機理比較復(fù)雜，普遍認(rèn)為是多方共同作用的結(jié)果。如排氣噪聲、機構(gòu)振動和激勵噪聲、電機與軸承噪聲以及泵油的沖擊噪聲等多種噪聲疊加的結(jié)果。鑒于此，一些減少泵振動和噪聲的新技術(shù)，新結(jié)構(gòu)滑閥泵在國內(nèi)不斷有人研制。如改變閥片結(jié)構(gòu)和材料以減小排氣噪聲；采用三缸式滑閥泵，使滑閥泵運行平穩(wěn)等。最近，一種新型產(chǎn)品HGL-150滑閥泵通過鑒定，該產(chǎn)品三個重要部位采用新型結(jié)構(gòu)，產(chǎn)品不但極限壓力低，而且噪聲比標(biāo)準(zhǔn)降低6分貝，且運行平穩(wěn)，無需地腳螺栓。
我國在滑閥泵的外觀質(zhì)量上也進行了不少探索，產(chǎn)品的外觀結(jié)構(gòu)設(shè)計更加美觀，泵體的鑄件質(zhì)量提高，泵體表面不需打膩子，噴漆后可組裝，外觀向儀器儀表化發(fā)展。盡管如此，國產(chǎn)滑閥泵與國外產(chǎn)品相比仍然存在著以下較大差距：一是噪聲、振動大。如H-150滑閥泵，國內(nèi)產(chǎn)品大多數(shù)要用地腳螺栓，否則由于振動，泵爬行嚴(yán)重。我國產(chǎn)品與國外先進國家的產(chǎn)品相比，噪聲普遍高出5分貝以上。二是噴油、漏油。多數(shù)滑閥泵啟動時噴油嚴(yán)重，運轉(zhuǎn)后漏油。三是停泵返油嚴(yán)重，造成啟動困難，使電機過載。四是穩(wěn)定性、可靠性差。由于生產(chǎn)加工裝備落后，使生產(chǎn)效率低，零部件的互換性差，影響了產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性。
羅茨泵該泵極限壓力可達到5×10-2Pa，其特點為抽速大、抽氣時間短、無污染�，F(xiàn)全國年產(chǎn)量約為3000臺。
目前國產(chǎn)羅茨泵產(chǎn)品質(zhì)量相差比較懸殊，老的生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)品性能指標(biāo)一般能夠達到或超過標(biāo)準(zhǔn)要求。按現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)，國產(chǎn)羅茨泵仍有30%左右的產(chǎn)品不合格，如果與國際先進水平相比，綜合性能差距更大。存在的問題是軸封漏油嚴(yán)重；振動、噪聲大，有的產(chǎn)品動平衡不好，也有的齒輪、軸承精度不夠；一些產(chǎn)品的零流量壓縮比以及最大允許奪差達不到標(biāo)準(zhǔn)要求；有的企業(yè)生產(chǎn)工藝裝備落后，不能保證零部件的加工精度和裝配精度。這些問題造成國產(chǎn)羅茨泵運行不可靠，故障率高，有的泵運轉(zhuǎn)幾個月就要維修，而德國L-H公司羅茨泵運行數(shù)年可以不維修。
油擴散泵該泵是目前國內(nèi)在高真空范圍內(nèi)應(yīng)用最普遍的泵。該泵的特點是結(jié)構(gòu)簡單、無機械運動部件、壽命長、不易損壞、在高真空范圍內(nèi)抽速大。我國油擴散泵的年產(chǎn)量約2500臺。
目前國產(chǎn)油擴散泵存在的主要問題是返油嚴(yán)重，使油擴散泵的使用條件受到限制。還有的產(chǎn)品極限壓力指標(biāo)和臨界前級壓力達不到標(biāo)準(zhǔn)要求，使泵的整體性能降低。
除了以上提到的質(zhì)量問題外，共性的質(zhì)量問題還有產(chǎn)品的耐久性和可靠性較差。目前，99%以上的國產(chǎn)泵不進行可靠性試驗，生產(chǎn)企業(yè)對其產(chǎn)品的可靠性指標(biāo)根本不了解。此外，漏水、產(chǎn)品標(biāo)牌與實際情況不符、螺釘松動、電機皮帶過緊或過松、旋片泵和滑閥泵的氣鎮(zhèn)裝置效果不明顯或失效等問題也比較普遍。
真空泵的性能質(zhì)量不僅僅取決于生產(chǎn)廠制造本身，大量的配套產(chǎn)品對真空泵的質(zhì)量起到了至關(guān)重要的作用，如軸承、齒輪、動密封、靜密封、電機、真空泵油等等，因此真空泵制造廠選用優(yōu)質(zhì)的配套產(chǎn)品對提高產(chǎn)品質(zhì)量是十分有效的。
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